什么是psd位置傳感器?
psd位置傳感器是一種能測量光點(diǎn)在探測器表面上連續(xù)位置的光學(xué)探測器。是一種新型的光電器件,或稱為坐標(biāo)光電池。它是一種非分割型器件,可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號。
psd位置傳感器的工作原理
psd由p襯底、pin光電二極管及表面電阻組成。具有位置分辨率高,響應(yīng)速度快和處理電路簡單等優(yōu)點(diǎn)。將二維方形psd應(yīng)用于定位系統(tǒng)中,模擬psd對準(zhǔn)物體的過程,確定psd與物體之間的相對位置;對準(zhǔn)物體的中心裝有一高亮度的發(fā)光二級管psd傳感器安裝于微動工作平臺上;二極管發(fā)出的光束經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)聚焦后,將光點(diǎn)成像于放置在透鏡焦平面上的psd的接收光敏面上,這個光點(diǎn)信號經(jīng)過前置放大電路轉(zhuǎn)換為電信號。然后,通過a/d采樣,送入到計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。從而確定psd對準(zhǔn)物體平面上某一點(diǎn)的位置。
當(dāng)對準(zhǔn)位置在測量范圍內(nèi)移動時,光斑與psd兩電極間的距離發(fā)生變化,使兩電極輸出電流隨其光斑位置的變化而變化,因此通過測定傳感器兩電極輸出電流的大小,便可知道psd與對準(zhǔn)物體平面上的某一點(diǎn)位置相對應(yīng)。
psd位置傳感器的分類
位敏探測器PSD主要有三種:四象限探測器、橫向效應(yīng)探測器、CCD/CMOS型探測器,四象限探測器和橫向效應(yīng)探測器的幾何結(jié)構(gòu)四象限探測器是一個均勻的硅盤,中間有交叉間隙。因此,有四個相等的光電探測器封裝為一個。
探測器的中心是交叉狀分離產(chǎn)生的交叉點(diǎn)。以檢測器為中心的激光束將從每個段產(chǎn)生相等的電流。光束運(yùn)動將被轉(zhuǎn)換成不同的電流在每個段,并通過處理這些數(shù)據(jù),可以計(jì)算光束中心的波動。所計(jì)算的波動被給定為相對于光束尺寸的運(yùn)動百分比。了解光束的尺寸可以方便地轉(zhuǎn)化為工程單元。
由SpotOn系列提供的軟件能完成這些計(jì)算橫向效應(yīng)探測器以類似于四象限探測器的方式工作,其中信息由四個電極遞送,每個軸兩個,并附著在敏感表面的背面。在這種情況下,四個電流由光吸收產(chǎn)生,并用適當(dāng)?shù)乃惴ㄟM(jìn)一步處理以給出x和y位置。在CCD/CMOS位敏探測系統(tǒng)中,光束位置是通過測量在檢測器表面上傳遞給每個像素的能量來確定的。
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